真空熱壓燒結(jié)爐主要用于半導(dǎo)體元器件嗎？

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真空熱壓燒結(jié)爐主要用于半導(dǎo)體元器件嗎？

發(fā)布日期：2019-01-16 作者：點擊：

真空熱壓燒結(jié)爐主要用于半導(dǎo)體元器件及電力整流器件的燒結(jié)工藝，可進行真空燒結(jié)，氣體保護燒結(jié)及常規(guī)燒結(jié)，是半導(dǎo)體專用設(shè)備系列中一種新穎的工藝裝備，它設(shè)計構(gòu)思新穎，操作方便，結(jié)構(gòu)緊湊，在一臺設(shè)備上可完成多個工藝流程。

爐外發(fā)生漏水，冷卻水量異常時，應(yīng)盡快采取應(yīng)急措施，如能保證水量，請繼續(xù)保持真空，如不能采取應(yīng)急措施，保持原狀，確認設(shè)備冷卻下來。

冷卻水發(fā)生異常時，設(shè)備處于停止狀態(tài)，馬上接通緊急用冷卻水。

在高溫(超過200℃即視為高溫)時，如果冷卻水停止了，如果不能緊急送水，水冷電極、換熱器、真空室殼體及各泵可能被損壞。

如果在非升溫、加熱和冷卻時，能夠盡快恢復(fù)時，重新啟動設(shè)備，繼續(xù)運轉(zhuǎn)如需要較長時間，則將設(shè)備保持原狀。

如果正在加熱和冷卻時，能夠盡快恢復(fù)時，重新啟動設(shè)備，如果需要較長時間時，則保持原狀，讓設(shè)備自然冷卻下來。

真空熱壓燒結(jié)爐

真空燒結(jié)爐主要用于半導(dǎo)體元器件及電力整流器件的燒結(jié)工藝，可進行真空燒結(jié)，氣體保護燒結(jié)及常規(guī)燒結(jié)。是半導(dǎo)體專用設(shè)備系列中一種新穎的工藝裝備，它設(shè)計構(gòu)思新穎，操作方便，結(jié)構(gòu)緊湊，在一臺設(shè)備上可完成多個工藝流程。

真空燒結(jié)爐的日常使用技巧：

檢查控制柜中所有部件及配件是否完備、完好。

控制柜安裝在相應(yīng)的地基上，并固定。

安照接線圖，并參考電氣原理圖，接通外接主回路及控制回路，并可靠接地，保證接線無誤。

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