錦州和力真空冶金工業(yè)有限公司
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真空熱壓燒結(jié)爐主要用于半導(dǎo)體元器件及電力整流器件的燒結(jié)工藝,可進(jìn)行真空燒結(jié),氣體保護(hù)燒結(jié)及常規(guī)燒結(jié)。是半導(dǎo)體專用設(shè)備系列中一種新穎的工藝裝備,它設(shè)計構(gòu)思新穎,操作方便,結(jié)構(gòu)緊湊,在一臺設(shè)備上可完成多個工藝流程。
真空燒結(jié)爐是在抽真空后充氫氣保護(hù)狀態(tài)下,利用中頻感應(yīng)加熱的原理,使處于線圈內(nèi)的鎢坩堝產(chǎn)生高溫,通過熱輻射傳導(dǎo)到工作上,適用于科研、軍工單位對難熔合金如鎢、鉬及其合金的粉末成型燒結(jié)。
熱壓爐也可當(dāng)作真空燒結(jié)爐使用,用于真空燒結(jié)爐時注意,在爐內(nèi)放置坩堝后,在蓋上保溫屏蓋后不要忘記再蓋其中間的小蓋。
真空熱壓爐是在真空(或其它氣氛)條件下將材料熱壓成型的成套設(shè)備,主要采用電阻或感應(yīng)加熱,由油缸驅(qū)動的壓頭上下加壓。
檢查真空泵電源系統(tǒng),皮帶盤皮帶松緊,真空泵油是否位于油封觀察孔中線。檢查妥后,人工轉(zhuǎn)動真空泵皮帶盤,如無異常,可在關(guān)閉蝶閥的情況下,啟動真空泵。
檢查真空爐體內(nèi)情況,要求真空爐體內(nèi)上等衛(wèi)生,感應(yīng)圈絕緣良好,密封真空膠帶具有彈性,尺寸合格。
檢查真空爐體的杠桿手把啟動是否靈活。
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