錦州和力真空冶金工業(yè)有限公司
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真空熱壓燒結(jié)爐,包括燒結(jié)爐和抽真空部分,燒結(jié)爐包括爐體和裝設(shè)在爐體內(nèi)的加熱室,燒結(jié)爐上安裝有六個引電電極,其特征是在爐體的上、下方分別設(shè)置有油壓機上梁和油壓機下梁,油壓機上梁和油壓機下梁由四個支柱連接成一整體。真空熱壓燒結(jié)爐廠家?guī)懔私飧啵?/span>
真空熱壓爐可以將真空/氣氛、熱壓成型、高溫?zé)Y(jié)結(jié)合在一起,是在真空條件下將材料熱壓成型的成套設(shè)備。
真空熱壓爐真空系統(tǒng)采用機械泵及油擴散泵,同時設(shè)有冷阱及機組。真空測量為復(fù)合真空計。真空系統(tǒng)還配有放氣閥、充氣閥,真空連接軟管采用不銹鋼金屬軟管。
真空燒結(jié)爐主要用于半導(dǎo)體元器件及電力整流器件的燒結(jié)工藝,可進行真空燒結(jié),氣體保護燒結(jié)及常規(guī)燒結(jié),是半導(dǎo)體專用設(shè)備系列中一種新穎的工藝裝備,它設(shè)計構(gòu)思新穎,操作方便,結(jié)構(gòu)緊湊,在一臺設(shè)備上可完成多個工藝流程。
真空和保護性氣氛中,對金屬、陶瓷及一些難熔金屬中間化合物粉末加熱燒結(jié),要獲得一定密度和具有一定機械性能的材料時,一般采用兩種工藝;即有壓燒結(jié)和無壓燒結(jié)。
有壓燒結(jié)工藝是將粉狀材料置于真空和保護性氣氛中的高碳模具中,高溫加熱到軟化狀態(tài)時,加壓成型。
真空燒結(jié)爐是在抽真空后充氫氣保護狀態(tài)下,利用中頻感應(yīng)加熱的原理,使處于線圈內(nèi)的鎢坩堝產(chǎn)生高溫,通過熱輻射傳導(dǎo)到工作上,適用于科研、軍工單位對難熔合金如鎢、鉬及其合金的粉末成型燒結(jié)。
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